二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Precision 5000 #9231618 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Precision 5000是专门为半导体制造应用而设计的先进高效反应器。它的设计建立在多年优化材料生长和沉积过程的研究基础上，为各种产品形式提供了可靠和可重复的平台。AMAT Precision 5000能够在单个负载下处理多达五（5）个五十毫米（50毫米）基板。它利用矩形布局中的四个电极为过程提供必要的电脉冲。反应堆完全集成，可配置用于各种工艺步骤，包括：热氧化、LPCVD（低压化学气相沉积）、RTCVD（快速热化学气相沉积）、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）和ALD（原子层沉积）。该反应堆能够处理摄氏-75至1050度的温度，使其适合许多先进的半导体工艺。APPLIED MATERIALS Precision 5000采用双区域腔室设计,由顶部区域和底部区域组成。顶部区域是一个正常的大气室，可以更好地控制晶片的均匀性和更好的均匀加热。底部区域容纳轨道、熔炉和电极。此外,Precision 5000还包括一个板载控制器和数据采集系统,用于收集和处理流程数据以及提供高级故障检测。该系统能够监视轨道上的多个参数,确保一致的可重复结果。AMAT/APPLIED MATERIALS Precision 5000提供快速的周转时间、最大的效率以及可重复、可靠的性能,以实现更好的产品控制。优越的均匀性与它所支持的先进工艺相结合，使其成为半导体行业的宝贵工具。