二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Preclean chambers for Endura CL #293633114 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Preclean chamber is a reactor designed for used in CVD （Chemical Vapor Deposition） processions.该腔室用于半导体生产，以提供一个高质量的清洁区域，在该区域可以进行薄膜涂层在局部区域的沉积。预清洁室利用等离子体增强的清洁技术来实现超清洁的基板表面，然后就可以接收到精致的保护性涂层。这种反应器模型具有水平单片装载室，由不锈钢腔体和可移动的不锈钢盖构成，并带有气锁密封和后排通风口。其内部容量可达100升，工作温度范围为0至150 °C。该腔室还有一个集成的圆柱形过程控制模块（PCM）,该模块连接到腔室顶部的控制面板,以便于访问数字输入和输出以及模拟控制。腔室的PCM装有几个设计成实现高产预处理的组件。它有一个光发射监测器、一个过程控制器、一个过程气体模块和一个真空系统。所有这些组件都设计成协同工作，在腔室中创造出有利于预处理的受控气氛。预压密室的设计考虑到了安全性。它配备了几个安全功能，如压力传感器、紧急关闭开关和报警系统。此外，它还被设计为易于维护和升级。它具有坚固耐用的设计，耐苛刻的化学物质，易于清洗和维修。最后，AMAT EnduraCL的PrecleanChamber是一种用于CVD工艺的可靠、坚固的反应器。它旨在提供一个可应用薄膜涂层的高质量清洁区域。该腔室配有几个设计成实现高产预处理的部件，以及几个确保反应堆安全运行的安全特性。该室的设计易于维护和升级，对苛刻的化学品具有抵抗力，可长期可靠使用。