二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Process kit for Endura 5500 #293656254 待售
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ID: 293656254
Part number / Description
0020-26312 / Shield upper, 8” Durasource TTN SST
0020-26288 / Shield lower 101, 8” Durasource TTN SST
0020-24914 / Cover ring SST, 8", 101 Coverage
0020-28937 / Cover, 8" Pedestal advanced 101
0020-27455 / Disk, 8", Advanced 101 Shutter
0020-08674 / Shield lower, ARC Spray SST SIP
0020-08673 / Shield inner, Al ARC Spray SST SIP
0020-08677 / Shield upper, Ground Al ARC Spray SST SIP
0020-08675 / Cover ring, 8", Al ARC Spray SST SIP
0040-01549 / Cover, 8", Pedestal B101 HTR S-IMP
0200-00998 / Pedestal ring 8", B101 AI ARC Spray ceramic
0240-26518 / Rest buttons ceramic B101
0021-22586 / Shutter disk, 8", B101
0020-23041 / Clamp, Shield, 8” Wafer
0020-21665 / Shield low, Knee AL/TI Process SST, 8” Wafer, 46" TRGT
0020-27702 / Clamp ring, 8”, SNNF, TI, 3.404 MM, 6 Pads, 10465A
0200-00221 / Insulator pinless, 8" SNNE, Preclean I
0020-27123 / Pedestal, PC II 8", SNNF
0020-26588 / Shield 8" PC II at C and D
0020-26967 / PC II Gas trench cover
0040-21178 / Preclean II.
Endura 5500反应堆的AMAT工艺套件是Endura 5500设备的基本附件。它包括在光刻或蚀刻过程中执行各种步骤的必要工具和组件，如剥离、清洁、沉积和计量。该工艺套件包括诸如搬运机器人、疏散模块、气体输送系统、若干电容器和现场计量装置等物品。操控机器人可以定位在恩杜拉5500反应堆附近，用于将晶圆和盒式磁带移入和移出反应堆腔室。疏散模块配备了一个用于样品疏散和其他操作的疏散室，以及一个大型涡轮分子转子，以实现快速清除速度。气体输送机结合了多个精确的控制器和阀门，为反应堆室提供正确的气体压力。电容器便于与Endura 5500反应堆直接电连接，计量工具可在生产过程中自动测量薄膜厚度。所包含的组件旨在允许用户实现多个薄膜堆栈,从而缩短了开发Endura 5500工艺所需的工程时间。该流程工具包允许用户快速优化其配方和目标周期,以及对每个配方执行数据记录和评估。该工艺套件还包括一个洁净室,可安装Endura 5500组件而不受任何污染。洁净室包括配有热、电、气线的车站网格，以及两个装有专用过滤器和鼓风机的气闸。资产还包括接地模型和离子中和设备，从而最大限度地减少加工晶圆的充电。此流程套件是Endura 5500系统的关键组件,因为它可确保流程可重复且可靠。它旨在提供一个安全高效的工作环境，可以处理各种复杂的过程。
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