二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT #9219513 待售
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ID: 9219513
晶圆大小: 12"
Etcher, 12"
Chamber model: Producer
Bias gen: AE APEX 5513, 13.56 MHz, max 5000W
Bias match: AE
Source gen: AE OVATION 2760, 60MHz, max 2700W
Source match: AE
GDP Size: Y2O3, 14"
Turbo pump: EDWARDS STP-F2203C
Throttle valve: VAT pendulum valve DN-250
FRC: MKS FRCA-26349, 1000 / 1000 1/4 VCR
ESC: Dual zone ceramic ESC
Cathode chillers:
ChA: SMC INR-496-003D
ChB: SMC INR-496-003D
ChC: SMC INR-496-003D
Wall Chillers:
ChA: SMC INR-496-003D
ChB: SMC INR-496-003D
ChC: SMC INR-496-003D
Process kit coating: Y203
Cooling: HT 110 / 135 / FC 3283
Mainframe configuration:
IPUP Type: TOYOTAl 100L
Gas panel type: Next gen
VHP Robot: Dual blade
MF PC Type: CPCI
Factory interface configuration:
Frontend PC type: 306M Server
FIC PC Type: 306M Server
(3) Load ports
Atmospheric robot: YASKAWA Track robot
Side Storage: Left
Dry pumps & Scrubbers:
ChA: EDWARDS iH
ChB: EDWARDS iH
Chc: EDWARDS iH
MFC Configuration: UNIT PTI-125
MFC Configuration: UNIT PTI-125
EC2-61A / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125
EC2-61B / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125
EC2-061C / Gas name / Max flow / MFC Type
Gas 1 / C4F6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 2 / CHF3 / 400 / UNIT PTI-125
Gas 3 / CH2F2 / 100 / UNIT PTI-125
Gas 4 / CH2F2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 5 / C4F8 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 6 / N2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 7 / O2 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 8 / O2 / 2000 / UNIT PTI-125
Gas 9 / SF6 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 10 / CF4 / 200 / UNIT PTI-125
Gas 11 / CF4 / 500 / UNIT PTI-125
Gas 12 / AR / 2000 / UNIT PTI-125.
AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT是一种为半导体製造过程而设计的反应器，专门用硼气掺杂硅晶片。该反应堆设计为为制造CMOS（CMOS）芯片提供完整的硼植入物溶液。AMAT PRODUCER EXT是PRODUCER系列的最新版本，开发目的是为单晶圆反应堆系统提供成本较低的替代品。应用材料生产商EXT反应器是一种单晶圆垂直扩散装置，经过优化，用于生产硼掺杂剂型材。它被设计用来产生比以前的单晶片系统高10倍的掺杂剂浓度，并允许不同的植入物角度来创建超细线特征。该反应堆还被设计为高度可靠和节能。PRODUCER EXT利用先进的等离子体源产生了硼掺杂气体。这个等离子体利用电容耦合的射频能量产生硼气体，然后在束线炉中输送到晶圆。这样就可以在晶圆上的所需深度精确施用硼，减少浪费，提高生产率。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT包括一个高分辨率的基板查看器，允许用户监视植入点轮廓并验证放置精度。用户可以使用板载过程控制软件来控制植入物的深度。这样可以确保在每个晶片上达到所需的掺杂物浓度曲线。AMAT PRODUCER EXT设计了易于安装和维护的模块化组件。这使得扩大生产和重新配置不同植入物轮廓的系统变得容易。此外,APPLIED MATERIALS PRODUCER EXT的小尺寸允许将其安装在从实验室到批量生产工厂的各种设施中。PRODUCER EXT反应器是半导体制造工艺的理想解决方桉，为产生硼植入物型材提供了可靠、经济高效的解决方桉。它旨在提供高度精确的给药能力和高产率,并实现最小的浪费和卓越的电源效率。它可以安装在各种设施类型和大小中,并且高度可配置。
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