二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA #9305827 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA是一种高通量的先进工艺反应器.它是专为生产半导体晶片而设计的，因为它具有快速热退火（RTA）和氧化的能力，而它的温度控制和处理低型晶片仍然可靠。AMAT PRODUCER GT ETERNA反应器是一种可靠、内在安全的工具，适用于快速热退火、氧化、扩散、介电沉积等应用。它提供了先进的工艺能力，如具有优化温度曲线的介电沉积、复合半导体的快速热退火以及低阻和高阻材料的沉积。该反应器由一个多晶硅尖端的加工管组成，在该管中进行晶圆的高速氧化，以及一个容纳加工管和其他部件的生产室。该工艺室由三个电路组成：栅极电路、高压氧化电路和退火电路。栅极电路负责多晶硅尖端工艺管的热管理，而高压氧化电路则提供氧化反应的高度可控性，退火电路则提供了膜的高效热活化。反应堆还包括多项综合安全措施，如流动环路安全、过电压保护和CTE（热综合保护），以进一步提高运行过程中的安全水平。Flow Loop Safety监视反应堆内部的压力，超过某个设定阈值将停止运行。当检测到过量电压时,过电压保护将监视和关闭系统。CTE（热综合保护）是当反应堆某些关键部分的温度超过可接受范围时，将监视和关闭系统的一项功能。应用材料生产商GT ETERNA是全球所有半导体工厂使用的可靠、通用的工具。这些功能与增强的过程控制相结合,为客户提供可靠的晶片生产,提高产量,从而提高生产操作的产量。PRODUCER GT ETERNA反应堆具有很高的通量能力，能够满足半导体生产的要求，同时又不影响质量。