二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293600877 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种用于半导体器件制造的单晶圆快速热处理（RTP）设备。该系统专为高性能和吞吐量而设计，具有多种气体选择，能够提供快速的多循环温度分析。RTP单元利用石英管作为加工室，用石墨敏感器将热量从电动卤素灯输送到晶圆。敏感器配有热电偶和气体喷嘴，提供精确的温度控制和均匀的气体输送。气流通过分子束屏蔽传递，可以编程为提供环境空气和氢气、氮气或其他工艺气体的精确溷合。AMAT Producer GT还具有一个背面冷却设施，确保晶圆的温度永远不会超过临界水平。它还配备了先进的光学传感技术，以监测工艺室的背面，并检测晶圆的任何潜在过热。应用材料生产商GT还拥有一个完全集成的、直观的晶圆处理机，以确保晶圆以安全无误的方式滑出石英管。该工具还可以配置许多选项,例如示例加载/卸载机器人、晶圆映射系统和多区预热系统。此外,Producer GT支持多种工艺温度和快速热偏移,非常适合高温工艺配方和温和加工。它还提供了磁感器平台的自动平整,以确保晶圆与磁感器的距离保持在严格的公差范围内。资产配备了高级监控和诊断功能,使流程工程师能够远程监控其流程配方,监控环境和流程结果,并从中心位置控制模型。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT还具有内置的安全功能,例如惰性气体净化设备、过热保护以及发生电源故障时自动关闭。总而言之，AMAT Producer GT是一个健壮可靠的系统，为半导体器件制造提供了快速高效的RTP处理解决方桉。它是为最佳性能和精度而设计的，非常适合快速热退火、快速热氧化和浅层结形成等一系列应用。