二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293606162 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT（AMAT Producer GT）是为III-V化合物半导体材料沉积而设计的先进分子束外延设备。该系统采用封闭式、全自动配置,具有多种气体、前体和群集源,支持实时过程控制,是先进工艺开发和一流设备制造的理想选择。应用材料生产商GT在水平/垂直几何中提供全晶片工艺能力，可沉积1-10微米均匀光滑、均匀的薄膜。生产GT反应堆具有高度精确、实时的过程控制，可以方便任何厚度的层修改。通过先进的温度控制，装置可以进行多步温度坡道，确保前体材料充分溷合、雾化和高效加热。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT也有石墨敏感器的设计，并有一个气体加热的无丝机沉积III-V材料。敏感器被快速均匀地加热，允许宽广的温度范围，使其成为应用特定生产过程的理想解决方桉。除了先进的温度控制外，该工具还具有氙气闪光灯和Quartz视口，为单层和多层结构提供了出色的均匀性和过程控制。AMAT Producer GT利用远程访问和过程监控软件进一步优化。它的用户界面非常直观,能够快速设置和配方开发。此外，它还配备了CMP能力，以允许生长后的修改和改进，以及粒子控制，以确保最佳工艺产量。此外，该资产旨在维护安全和环境健康的最高标准。它具有自动清洗模型和氮气供应，在加工过程中提供了一种μ的、可靠的清洁控制。综上所述，APPLIED MATERIALS Producer GT是III-V复合半导体材料沉积的理想分子束外延解。它是一种高效、坚固且高度灵活的设备,旨在满足高级流程要求。