二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293616131 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种用于蚀刻和薄膜沉积的反应性充气管反应器（RGR）。它允许精确控制反应性气体、温度、压力和时间，以编程一系列薄膜沉积演化。此RGR非常适合执行一系列薄膜沉积应用,包括通常用于处理半导体和光电器件的应用。AMAT Producer GT的气体输送设备在保持所需操作压力的同时，在多个气源之间轻松快速地变化。此功能减少了在运行之间更改过程气体所需的时间,从而提高了吞吐量。其精确度也提高了薄膜沉积演化的整体性能。APPLIED MATERIALS Producer GT具有三频无功离子蚀刻（RIE）电流源,可调频率范围为0-600 kHz,输出高功率（>200 W）。此功能可精确控制轮廓均匀的细腻基板的蚀刻速率。生产GT的温度控制系统是为保持安全一致的工作温度而设计的。它配置为在需要时自动调整工作温度,并且可以设置为5-400C的温度范围。这种温度范围保护为薄膜沉积和蚀刻提供了可靠的处理。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是用闭环反馈单元设计的，用于监测蚀刻和沉积的电流和电压设置。这台机器不断调整设置以保持最佳性能。此外，RGR配备了自动快门工具，在需要时打开和关闭蚀刻室。这使资产能够在孤立的大气中运行，从而提高了大气条件的统一性和控制力。最后，AMAT Producer GT设计了一个完整的安全模型来监控腔室的操作参数。该设备通过检测任何危险释放物确保操作员和设备的安全。如果出现任何偏差,它将提供可听和视觉警报。总体而言，APPLIED MATERIALS Producer GT是一种高性能的反应性充气管反应器，旨在优化薄膜沉积和蚀刻应用。它拥有三频反应性离子蚀刻（RIE）电流源、气体监测系统、温度控制单元、闭环反馈机、自动快门工具以及完整的安全资产。GT是加工半导体和光电器件的可靠、准确的器件.