二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293616132 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 293616132
晶圆大小: 12"
优质的: 2021
CVD System, 12" 2021 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种先进的反应堆,旨在在最大的前体条件下提供最大的生产力。通过使用反应堆,企业可以轻松实现其薄膜沉积目标。AMAT Producer GT是薄膜沉积(TFD)工艺的革命性生产平台。应用材料生产商GT采用平面磁控管溅射沉积技术.这一技术确保了整个基板上的均匀沉积速率,允许对多达八个晶片进行单晶片处理。这允许更高的沉积速率和薄膜质量。此外,对称泵浦结构可防止基板上的温度梯度,最大限度地减少扭曲,提高均匀性。腔室为圆形设计,有两个独立的两级涡轮泵,提供快速的泵降时间和高吞吐量。它使用最多四个含有多种材料的目标操作,还可以使用扩展版本的反应堆处理另外两个目标。使用的磁滤波器可防止线条和弧线,并提供均匀的沉积速率。Producer GT的其他功能包括实时流程监控系统,允许快速调整以提高流程质量。该系统还可以为每种底物生成详细的配方,以便提供最佳的薄膜质量。此外,AutoLift功能允许快速轻松地更改视场,这样就不会浪费额外的时间来手动调整升力和目标角度。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种先进的反应器,旨在提供高通量和薄膜质量,非常适合薄膜沉积工艺。采用AutoLift功能的平面磁控管溅射沉积技术、两级涡轮泵、磁滤器、实时过程监控,给用户提供了轻松进行胶片沉积操作、生产优质产品的机会。
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