二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293618158 待售
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ID: 293618158
优质的: 2008
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) system
EFEM
Load port
PC
(2) KAWASAKI 3NX510B-D001 Desk handlers
KAWASAKI 30D61I-A003 Holding controller
Transformer
BROOKS Mag8 0190-25011 Robot
Robotic arm
(3) RPS 3L
(3) Apex 3013 RF Generator
(3) Heaters
(3) Chambers
(3) Power boxes missing
Gas configuration:
NF3 1000sccm
NF3 1000sccm
Ar 5000sccm
(2) O2 15000sccm
C3H6 3000sccm
He 5000sccm
He 15000sccm
N2 15000sccm
Ar 15000sccm
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种先进的热蒸发器设备,设计用于在各种基板上沉积薄膜。它主要用于电子材料和元件制造。AMAT Producer GT为薄膜的沉积提供了极好的可靠性和精确度,符合制造商的确切规格。该系统能够沉积各种材料,包括硅、铝、钛和其他金属。应用材料生产商GT利用电子束蒸发器在基板上沉积高度均匀的薄膜。电子束的工作原理是将原料加热到一个电子熔炉中,然后发射一个电子束,将材料蒸发到基板上。光束可以聚焦到基板的一部分以沉积较厚的薄膜,或者光束可以分布在多个区域以产生更均匀的薄膜。该光束能够生产厚度从亚纳米到微米不等的薄膜。原料的温度由石墨敏感器控制,由高频感应加热。这种高频感应和感应加热的结合提供了精确的温度控制和均匀的沉积。生产商GT还包括一个真空装置,用于排空腔室和一个用于安装基板的底板。真空机包括涡轮泵、消声器和同轴疏散的有源机械泵。这使得疏散过程能够得到精确控制,以维持所需的膜沉积气氛。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT配备了用于泄漏检测的高分辨率质谱仪和用于增强过程控制的冗余备份工具。高分辨率质谱仪的设计使其能够准确地测定整个过程压力,从而实现精确的过程重复性。AMAT Producer GT是一种先进可靠的热蒸发器资产,为薄膜的沉积提供了精度和均匀性。它非常适合制造精密的电子材料和元件。
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