二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293627621 待售

AMAT Producer Gold（AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT）是等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器的一种。设备使用等离子体在半导体等电子基板表面沉积高质量薄膜。AMAT Producer GT是一种用途广泛的PECVD系统，能够处理多种材料，包括硅烷、氮化物、氧化物和氟碳。该反应器具有生产级工艺室的特点，它提供了对基板的开阔通道、优越的均匀性控制以及更好的窄特征过程控制。生产级腔室还设有两个射频热源，一个微波等离子体源和一个高频磁控管源。这种独特的组合允许增加等离子体控制，更好的均匀性和高沉积速率的大范围层材料。APPLIED MATERIALS Producer GT被设计为提供可重复、可靠和高效的过程。它的主要特点包括高温处理能力高达800摄氏度，以及室内的加热和冷却墙壁。这确保了一致和可重复的结果,即使在处理异国情调的材料或执行高端工艺步骤时也是如此。生产者GT还结合了APPLIED MATERIALS专有的VESPER（可变能量表面等离子体增强型反应器）技术，该技术允许精确控制等离子体密度、能量和分布。VESPER还为用户提供了对薄膜厚度、组成和折射率的精确控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT能够运行一系列晶圆尺寸,直径从2英寸到8英寸的晶圆。AMAT Producer GT包括一个精确的逐层过程控制单元，它监视沉积运行的每一层的参数和数据。这允许精确和可重复的进程,并使用户能够在每次运行时始终获得所需的结果。APPLIED MATERIALS Producer GT还配备了一台具有干氮净化功能的低温烘焙机，允许标准生产溶液温度为-25摄氏度至+200摄氏度。最后，生产GT是一种用于高端沉积过程的PECVD反应器。该工具具有多种功能,可确保可重复和可靠的过程,以及精确的薄膜厚度和成分控制。该资产能够运行一个晶圆大小的数组,并且其逐层进程控制模型可实现每次运行的精确且一致的结果。