二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293822848 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，用于沉积多晶硅、氮化硅、二氧化硅等含硅材料的薄膜。该反应堆的设计旨在优化先进的加工性能，并以高达1000纳米/小时的速度提供高均匀性和一流的薄膜质量。双射频源配置（拆芯）允许对沉积材料进行灵活的功率和速率控制，以满足特定应用的需要。大的磁化器尺寸和增强的均匀性控制使得它非常适合将材料沉积到诸如晶片之类的大基板上，同时仍然能够精确调整设备尺寸。腔室分为两个独立压力控制的垂直工艺区，上下两个区的真空水平分开。这种设计允许以不同的速率沉积材料，并防止不同工艺之间的交叉污染。此外，反应堆设计有先进的垂直冷却特性，以保持整个腔室和两个垂直加工区之间的统一温度控制。一种先进的闭环测试（CLT）设备可实时快速测量和调整工艺参数，从而确保精确的薄膜质量和非常高的均匀性。PECVD系统具有多种不同的应用选择,包括侧壁沉积、高速率沉积、低k沉积、平面化、蚀刻/条带和多层/堆栈沉积。此外，该装置还可进一步配备先进的气体供应系统，例如动态低氟化物（DLF）选项，有助于最大限度地减少任何可能的污染。简而言之，AMAT Producer GT PECVD反应器是一种先进的机器，具有易于使用的控制和出色的均匀性控制，设计用于卓越的沉积性能和提供顶尖的薄膜质量，具有满足特定工艺要求的灵活性。