二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9152528 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT是世界领先的等离子体反应器，广泛用于半导体工业的蚀刻。它提供可控的高密度能量,可在各种衬底应用（如薄膜、块状半导体和显示）中实现精确控制。AMAT Producer GT利用独特的大气压、低能、感应耦合等离子体放电，且高度可靠，在整个基板上具有极好的工艺均匀性。等离子体过程通过可调的供应和偏置功率调整到应用，使其适用于广泛的材料和薄膜。该工艺的闭环控制即使在高生产需求下也能实现可重复结果的最高精度。工艺温度保持在200°C以下,以防止表面污染或降解。离子源和电子源，加上额外的压力控制，提供了一个稳定的过程，确保了可靠的生产输出。APPLIED MATERIALS Producer GT提供了广泛的附加功能,旨在提高过程速度和吞吐量。其中包括快速电极电弧保护、快速重新点火和远程样品分析。工艺气流系统可以针对每个应用进行独立调整，提供最佳的蚀刻轮廓。反应堆效率高，成本效益高，其模块化设计使得维护和维修成为一个简单的过程。该工艺室由耐腐蚀材料制成，有助于提高反应堆的长期可靠性和安全性。总而言之，Producer GT是一种用途非常广泛、可靠的反应堆，旨在以尽可能最有效的方式产生最高分辨率的蚀刻质量。它独特而强大的设计，加上它提供的各种功能，使反应堆成为最复杂和要求最苛刻的半导体应用的理想选择。