二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9170202 待售
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已售出
ID: 9170202
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
PECVD System, 12"
Chamber configuration:
A: Eterna FCVD
B: SACVD
C: Eterna FCVD
Items: FI
FI Robot
FI Robot controller
Aligner
Cool station
FES
FIS
TCS / RT
AMAT FFU
Items: LL
LL Upper lifts
LL Upper lift drivers
LL Lower lifts
LL Lower lift drivers
LL Pump
LL Foreline
Items: Buffer
FX Robot
FX Robot linkage (Bat wing / Bridge)
Robot blades
Robot controller
LCF
Buffer pump
Buffer foreline
MF Controller
Chamber: A
RPS
Upper lid stack (Gas box, Faceplate, Isolator)
Ceramic process kit
Heaters: Pedestal
Pin lifts
Pin lift driver
Heater lifts
Heater lift drivers
Ch FL, TV, Iso valve
Gas panel (MFC, LFM intact)
Chamber controller
Chamber: B
RPS
Upper lid stack (Gas Box, Faceplate, Isolator)
Ceramic process kit
Heaters
RF Filters
Pin lifts
Pin lift driver
Heater lifts
Heater lift drivers
Ch FL, TV, Iso valve
Gas panel (MFC, LFM intact)
Chamber controller
Chamber: C
RPS
Upper lid stack (Gas Box, Faceplate, Isolator)
Ceramic process kit
Heaters: Pedestal
Pin lifts
Pin lift driver
Heater lifts
Heater lift drivers
Ch FL, TV, Iso valve
Gas panel (MFC, LFM intact)
Chamber controller
Currently installed and stored in cleanroom
2011 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor是一种技术先进的设备，专为半导体及相关行业而设计。此工具有助于制造当今技术生产中必不可少的高级材料和组件。TheProducer GT是一种热等离子体化学气相沉积（CVD）反应器，工艺室直径240mm，深度350 mm。它配备了一个高性能的双室隧道（TCT）源，允许生产均匀和可重复的材料特性，而不会从最靠近源的基板部分到距离源最远的区域产生热梯度。该反应堆采用Intelli- Match™ Advanced Source Matching and Modeling技术建造，有助于可靠地管理反应堆功率控制。本文介绍了主室和副室之间的自动频率源匹配，以及阻抗控制设备的安全运行。AMAT Producer GT具有非常高效的气体输送系统，具有气体雾化和注入入口，用于精确控制气体成分和输送。反应堆还具有可调过程室压力，从粗糙真空到大气压，在整个晶片基板上达到均匀的工艺条件。它具有先进的温度控制能力，具有先进的温度反馈控制单元和反应层生长控制能力。其热处理室具有坚固的温度监测和控制功能，精度± 2°C。反应堆还设有高压直流（HV-DC）源动力机器，旨在最小化等离子体扰动并产生电子回旋共振波，改善等离子体约束和均匀性。其HV-DC电源还提供最大功率密度控制和最大等离子体密度，以实现更快的沉积速率。APPLICED MATERIALS PRODUCER GT Reactor能够运行广泛的过程化学，包括TiN、Al2O3、SiO2、PECVD等薄膜，以及热氧化、扩散、退火等热过程。它还能够与APPLIED MATERIALS 'Ventura® Central Platform一起运行批处理过程。该工具配备了功能强大的软件套件,旨在提高工作效率并增强诊断能力。它与AMAT/APPLICED MATERIALS PreQual软件套件集成在一起，允许快速高效的过程开发和生产高质量的胶片。Producer GT旨在支持超大批量制造,即使在最苛刻的环境中也能实现最大的吞吐量和卓越的可靠性。它还通过了在危险区域安装的认证,并对危险环境进行了ISO 5类洁净室评估。这种可靠的工具能够持续为用户产生出色的效果。
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