二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9198380 待售

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ID: 9198380
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
CVD System, 12" Qty / Part number / Description (1) / 0190- 03068 / PIO Cable board OHT (1) / 0190- 44306 / Loadlock EUROTHEM (3) / 0140- 18773 / Pedestal lift motor cable side 1 (3) / 0140- 18772 / Pedastal lift motor cable side 2 (6) / 3700- 01376 / Pedastal O- ring (1) / 0140- 17152 / Chamber controller signal cable (2) / 0195- 11067 / Chamber AC box (3) / 3980- 00027 / RING BOLT, MF80, 5.95OD W /.358 (6) / 0021- 98006 / ENP Cover, crossdrill (1) / - / LCF Sensor cover (3) / - / EV3 Manifold (2) / - / LCF Sensor window (8) / - / LCF Sensor srew Currently warehoused 2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是用于半导体生产的最先进的化学气相沉积(CVD)反应器。这种设备的先进设计使其成为在半导体基板上生产高品质、超薄层材料的理想工具。该系统采用两室设计,允许灵活的过程。主室为反应室,配有一系列气体入口,可根据不同配方调节。这个腔室还装有一个热壁感光器和一个电磁等离子体源。将感光器加热至高达950°C的温度,以提供开始化学反应过程所需的能量。与此同时,等离子体源有助于将气体分子分解成它们的组成原子,并确保这些原子的均匀分布。该单元还配备了控制器和用户界面。用户可以输入所需的配方,然后控制器将相应地配置计算机。这确保了CVD过程的所有步骤都将被考虑在内。用户还可以调整温度、压力、流量等各种参数,以细化工具的性能。工艺完成后,冷却排气管线离开反应室,将废旧的工艺气体引导到资产之外。冷却模型还有助于确保腔室的温度和压力保持在最佳水平。除了功能外,AMAT Producer GT还提供了广泛的高级功能,包括反应性高长宽比CVD、低温快速热处理(RTP)、超低温CVD (LTCVD)等等。这种设备的先进设计使其能够容纳各种各样的基材和材料,使其成为半导体生产的通用工具。总之,APPLIED MATERIALS Producer GT是一种先进的CVD反应堆,设计灵活,可以容纳各种各样的底物和材料。它提供了广泛的特性和功能,以及易用性和强大的控制器和用户界面。这使得它成为生产用于半导体生产的优质材料层的理想工具。
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