二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9203130 待售

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ID: 9203130
晶圆大小: 12"
Chamber, 12" P/N: 426362B.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor是一种用途广泛、高效的外延增长设备,设计用于复合半导体材料的商业化生产。该系统促进具有各种生长温度和持续时间的层的增长,从而能够沉积制造先进半导体产品所必需的高质量器件结构。该反应堆采用先进的炉级设计,允许精确的生长温度控制和均匀的加热。AMAT Producer GT反应器配备了扩散、氧化和热处理能力,以提高外延层质量。它还包括一个提供精确气流控制的原位四区气体扩散单元。此外,它还包括一个用于基板运动和温度控制的高性能基板热级平台,包括无需人工干预的自动基板传输。应用材料生产商GT机还配备了先进的气泡,安全方便地提供了恒定的质量流量和气体浓度。这确保了所有组件在所需的暴露期内都能准确地暴露于各自的反应物气体中,从而实现每批设备性能的一致。该工具的自动化体系结构专为具有高吞吐量且不影响资产性能的优化工作负载而设计。诸如配方设置、警报响应处理和队列优先级管理等个性化的任务管理功能最大程度地提高了模型利用率。集成的流程智能还使用户能够通过提供直观的图形用户界面来进行诊断和配方优化,从而快速可视化流程参数。这可以提供可配置的多维过程数据视图,从而实现可靠和准确的决策。生产商GT Reactor最大限度地提高了工艺灵活性,允许用户从一种配方快速轻松地切换到另一种配方。此外,高效的设备技术可将气体消耗降至最低,从而提高工艺产量,并减少停机时间。通过以经济高效的方式提供高质量、高度复杂的半导体器件结构,反应堆为大批量商用半导体器件生产提供了巨大的价值主张。
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