二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9206068 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT，又称PGT，是一种处理硅晶片的工具。它是一个模块化反应堆，使用集群式平台，并提供许多功能。AMAT生产GT包括三个主要组件：工艺步进室（PSC）、中央控制器和传输系统。PSC是系统的心脏，由中央控制器控制。它是执行所有处理的圆柱形腔室。在内部，许多热隔离气体喷射器围绕着容纳晶片的法兰。喷射器可以精确控制室内的温度和压力，允许精确控制氧化和蚀刻等过程。要将晶片进出PSC，APPLIED MATERIALS Producer GT可以配备多种不同的传输系统。一个标准的传输系统包括一个入口端口，负载锁和晶圆更换器。还有各种自动化和手动转移系统。PGT能够处理300和200 mm晶圆,并且可以接受和处理各种晶圆类型。它提供50-1200摄氏度的宽加工温度范围，压力范围为1-50托。这允许各种过程，如氧化、蚀刻、沉积等等。由于其精确的控制能力、自动化的传输系统和精心设计的传感器,GT生产商还提供了出色的可重复性和准确性。这样就可以在不同的工艺和晶圆类型中始终保持较高的收率和收率。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是各种半导体和光伏应用的绝佳工具。它允许对各种晶圆类型进行经济高效和可靠的处理,并提供出色的可重复性和准确性。该工具模块化，易于定制，适合用于生产和研发应用。