二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9227461 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor是一种业界领先的集成单晶片电感耦合等离子体（ICP）设备,专为半导体器件制造而设计。这种紧凑型反应堆具有一个ICP源和一个积液池，每小时可提供高达80个晶圆的高通量，并提供精确的工艺控制，以创建坚固可靠的设备结构。该系统还采用了专有的晶片处理技术Aerosol Jet Coater，它为毯层涂层和蚀刻速率提供了卓越的一致性和均匀性。AMAT Producer GT ICP源设计用于优化工艺性能和产量控制,采用定制线圈技术,可最大程度地减少功率波动,同时提高晶片之间的等离子体均匀性。该单元还具有独特的自动功率控制算法（APC），以进一步提高工艺精度和重复性。此外，源的高频调制能力允许对等离子体分布进行微调，以进一步提高过程的可预测性和可重复性。Aerosol Jet Coater使用专有的液滴技术，将薄膜植入物均匀地沉积在晶圆两侧。这项创新技术可实现高达4 μ m的高精度、可调膜厚度,均匀度超过2%。此外，它还具有可调的面积覆盖水平，从而能够精确控制薄膜沉积过程。应用材料生产商GT处理器还具有一个用于控制元件源均匀性的多管积液单元，以减少界面阻力和接头泄漏。机器还有一个排气室，确保最优气流达到最大膜均匀性，同时确保消除所有颗粒。生产商GT反应堆非常适合广泛的纳米级制造应用，包括MEMS、纳米结构、金属氧化物半导体、纳米结构材料和光电材料。该工具可集成到模块化工具配置中,从而为各种半导体器件制造需求提供端到端的工艺解决方桉。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT反应器具有卓越的工艺控制、丰富的性能和严密的均匀性控制,是制造尖端纳米级器件的理想选择。