二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9235066 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor是一种先进、先进的材料沉积（AMD）室，用于生产半导体器件的浅沟隔离（STI）、屏障金属和钝化层。这项先进的技术，加上高度的制造精度、精度和鲁棒性，使得AMAT Producer GT Reactor成为制造先进半导体器件的高度可靠和高效的沉积设备。应用材料生产商GT反应堆包括几个最先进的特点和能力。该系统提供高生产率，能够并行执行多个复杂过程。该装置的主要部件包括一个自动沉积室、一个磁感器和晶圆转运器、一个准备就绪的室、一个双室微波发生器和几个附加附件。反应堆通过将硅晶片暴露在高真空环境中来运行。磁化器将晶片提升到生产阶段的工艺位置，而晶片转运器则将晶片从阶段带回存储托架。磁感器、晶圆转运器和生产阶段均采用电动供电。Epi-ready chamber is where the ultimate deposition process occess.密室内的一台精确的送货机，将硅、二氧化硅或硅化物等材料从原料箱以薄而均匀的薄膜的形式供应到加热的感光器上。然后将这种沉积的材料抛光、蚀刻或经受其他在晶片上产生所需特征的工艺。微波发生器是工具中最精密的元件。它用于产生微波能量，以精确加热晶片，并实现高度精确和一致的薄膜沉积。Producer GT反应堆的双室微波发生器包括四个独立的天线、两个微波控制箱单元和多个射频源。微波发生器还提供极低温度的基板加热，既节能又在整个基板上均匀，从而防止对基板的热损伤。资产的其他先进特点包括先进的安全联锁、自动标定磁感器高度和温度以及闭环温度控制。所有这些特点使AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor成为先进半导体应用最先进、最可靠的沉积系统之一。