二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9241937 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 9241937
CVD system, 12" 2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT reactor是一种先进的沉积设备,具有物理气相沉积(PVD)技术和化学气相沉积(CVD)工艺。它也被称为一种先进的材料加工系统,因为它可以用来沉积、蚀刻和接受特定的材料及其特性到基板上。该装置本身是一个完全自动化的机器,结合了多目标阴极技术、气体辅助输送工具和真空室。AMAT Producer GT反应器的多目标阴极技术提供了较高的沉积速率,非常适合大体积、快速的薄膜沉积。其三单极磁场的构型从每个目标产生均匀、近乎独立的能量电子通量,以提供分布式沉积,使沿着底物的薄膜达到均匀。磁铁防止电弧或其他因能量沉积过多而引起的问题。加入应用材料生产商GT反应堆的气体辅助输送资产允许精确控制沉积在基板上的薄膜的厚度和均匀性。特别是,模型通过在结束效应后从两个区域中的任何一个区域增加反应物的入口,在底物上附加一个背面清除层。这改善了化学耦合,并防止针孔和反应性溅射,这会导致薄膜问题。生产者GT反应堆被封闭在一个能承受低至10-7 Torr压力的真空室中。这种环境允许薄膜在没有任何外部污染物的情况下沉积,导致薄膜更均匀,具有更好的电、热和光学特性。设备还包括一些功能,以确保过程以安全和高效的方式进行,如拖管端口和紧急泵排气。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT被设计成一种功能强大且用途广泛的多种材料膜沉积系统。它集成了PVD和CVD技术,使不同成分的薄膜能够沉积在对薄膜厚度和均匀性进行精确控制的基板上。耐用性、准确性和多功能性使其成为一系列行业的理想选择,从科研和航天领域到医疗和电子行业。AMAT Producer GT反应器以其先进的技术,是任何机构寻找可靠、精确的薄膜沉积装置的理想解决方桉。
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