二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9244810 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种广泛用于外延和沉积工艺半导体制造的反应器。它是AMAT系列工业沉积系统的旗舰工具,用于研究和工业设施。AMAT Producer GT是一种垂直反应堆,结合了多种技术,形成了先进半导体工艺的强大解决方桉。TheProducer GT反应堆配备了几个独特的功能,包括最多四个腔室区域、Planar GrowthTM过程控制以及先进的Q-FlexTM源技术。APPLIED MATERIALS Producer GT的Planar Growth process control feature provides automated inde-by-lade-lagth growth,允许在横向模式稳定性大大提高的情况下产生连续的均匀层。这种过程控制是由反应堆的高级监测系统(Advanced Monitoring System,AMS)管理的,该系统是一种高度精确的耦合光学/电气测量发动机,能感应到原位外延过程参数。AMS不仅不断监测底膜层的厚度和组成,还相应地进行补偿,以确保更好的膜质量。此外,Producer GT还利用Q-FlexTM源技术。此技术允许更快的源交换时间和更高的工艺温度,从而提高生产吞吐量。集成的质量流控制器也被用于精确的源代码控制,使整个过程的过程控制更加严格。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT进一步配备了先进的安全系统,包括智能主动屏蔽、自动压力管理和二级安全控制器。这些相互连接的系统在运行过程中提供无与伦比的安全保证,大大降低了发生事故或损坏设备和人员的风险。最后,AMAT Producer GT用户友好,具有大触摸屏图形用户界面(GUI),使反应堆易于操作。GUI还为实时数据提供了全面的监控仪表板,确保用户能够在必要时跟踪和测量所有关键反应堆参数。综上所述,APPLIED MATERIALS Producer GT是一种工业级反应堆,设计用于半导体的高效安全沉积。其先进的Planar Growth、Q-Flex源和先进的安全系统技术最大程度地提高了工艺正常运行时间、质量和产量。这个强大的解决方桉是研究人员和工业设施的理想选择。
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