二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9245892 待售
网址复制成功！
单击可缩放
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种半导体製造工具，旨在为各种应用产生複杂的功能性晶片。该工具旨在使集成电路和其他微电子元件能够大规模生产。该反应堆用于半导体工业中的多种工艺，包括沉积、蚀刻和氧化。AMAT Producer GT利用集群工具平台进行高通量和高产制造。该系统专为提高复杂半导体器件的吞吐量和制造效率而设计。该工具采用模块化、可调的腔室结构，可容纳各种加工工具。可以将多个工艺工具组合到一个腔室中,从而实现更高的生产率和灵活性。该工具配备了高级控制功能和功能,包括自动配方设置、闭环控制、优化吞吐量的工具分期以及可编程基板处理,以实现最高正常运行时间。该工具具有几种类型的反应堆，以满足各种工艺需求。其中包括低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）室；蚀刻室；氧化室；直列门蚀刻工具；和抛光剂，用于多种材料，如多晶硅、钨、氧化物、氮化钛和氮化物。APPLIED MATERIALS Producer GT提供了一个集成的过程流,其中包含许多高级功能,包括基板负载锁定、沟槽监视器、自定义过程控制逻辑和缺陷管理功能。该工具还具有用于监控性能的内置维护跟踪系统和设计用于部件转移、存储和检索的子系统仓库。生产商GT是用于制造高度复杂的半导体器件的先进工具。该工具旨在最大限度地提高吞吐量和制造效率,从而实现关键组件的高效批量生产。该系统的模块化结构和先进的过程控制使其成为半导体器件制造的宝贵资产。
还没有评论