二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9251458 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT是一种等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，用于生产半导体材料如氧化硅、氮化硅、低k电介质。它是一种强大可靠的工具，可以将高质量的薄膜沉积在基板上。AMAT Producer GT的飞机级铝室设计，使它可以在较大的基板区域上提供均匀的等离子体。功率高达500瓦的多源射频发生器可精确控制施加在腔室上的射频。这使用户能够完全控制沉积参数，从而能够生产厚度和组成高度均匀的薄膜。应用材料生产商GT达到低至250-400 ℃的沉积温度,具有快速的斜坡上升时间,适用于氧化物沉积和表面钝化等多种过程。其直观的气流控制系统可实现多种气体输送,为不同的应用提供定制的薄膜配方。生产商GT能够在长时间的沉积过程中提供稳定的等离子体，引入最小的颗粒并避免腔壁重新沉积。它还确保等离子体均匀性和可重复性跨越所有底物和工艺参数，使其成为一个适合大批量生产的工具。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT采用了非常坚固的设计,可最大程度地减少过程漂移并优化多腔室系统的产量。其先进的诊断提供了晶圆吞吐量一致性的快速反馈，实现了卓越的工艺控制。此外,其板载故障检测和隔离装置可确保高机器可用性,减少停机时间和相关成本。总体而言，AMAT Producer GT是在大批量生产中精确沉积介电和表面钝化薄膜的理想工具。它的飞机级铝室设计允许在一个大的基板区域上创建一个精确而均匀的等离子体。多源射频发生器和集成气流控制工具使用户能够完全控制沉积参数。此外,其先进的诊断、故障隔离资产和可靠的设计有助于确保卓越的过程控制和高模型可用性。