二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9251459 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种高生产力的300 mm垂直扩散化学气相沉积反应器，非常适合生产大量的薄膜半导体材料。反应堆的设计适应了大批量制造、过程控制和均匀性要求。该反应器的垂直几何形状确保了高通量和低沉积速率，同时在整个晶片表面提供了极好的均匀性。AMAT Producer GT采用高温单区反应堆设计。它配备了三个6 kW、800安培RF发电机电源，此外还有一个三轴RF变压器。这种设备非常适合薄膜材料的沉积，如硅、钨、钛、的、铜、铝等。APPLIED MATERIALS Producer GT专为优化层均匀性而设计。在引入沉积室前，室内温度受到严格的调节和冷却气体，从而显着降低室内温度。反应堆具有多级负载锁定系统，在多个腔室提供过程灵活性和稳定性。工艺参数，包括温度、压力和气流，可以精确调整。它还采用了四室气体分配单元，进一步降低了工艺变异性。此外，一个可选的气体屏障机器提供有效的污染抑制沉积室内。为了优化过程控制,Producer GT配备了一整套实时诊断和控制工具。这些工具允许实时监视所有关键流程变量,并能够快速调整流程参数以处理任何设置或操作更改。这样可以确保在大批量生产运行中始终实现统一的结果。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT还具有样品负载锁，专门设计用于容纳300毫米、25毫米和12英寸晶圆尺寸。样品负载锁具有晶片处理端口、气体清除端口、气体歧管和样品定位控件，所有这些控件都能完全控制样品的插入和从负载锁腔室中移出。AMAT Producer GT为制造高品质的薄膜半导体材料提供了一个通用、可靠、可靠的生产环境。其先进的设计确保了出色的层均匀性、过程灵活性和过程控制,而其坚固耐用的结构则确保了满足大批量制造的苛刻要求。