二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9253662 待售

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ID: 9253662
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
PECVD System, 12" SiCoNi Clean chamber Other options and factory interface options: Additional loadport Infopad pos A or B Configurable colored lights Front facing intake plenum Upper E84 sensors and cables TIRIS With RF E99 Carrier ID Operator access switch Light curtain Remote options: Heat exchanger hoses and manifolds Facilities UPS interface Remote flat panel monitor on stand Through the wall flat panel monitor with keyboard Non standard request: Kit (2) Additional heat exchangers Manifolds H Chamber FI Removal Producer GT custom option Pre-align center single axis 5.4 FI New core Power vaccine AMK Handling items 2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种用于处理半导体器件的真空沉积设备。该反应器可用于各层集成电路的保形、均匀薄膜的高密度应用。它是一种全自动工具,旨在提高流程的统一性、生产率和产量。AMAT Producer GT配备了大容量负载锁定系统,允许连续高真空操作。该机组还采用了温度范围高达600°C的先进加热技术,用于要求更高的工艺。此外,反应堆具有广泛的沉积源和多个工艺室。这允许同时处理多种材料,为各种沉积过程提供了高效的平台。APPLIED MATERIALS Producer GT利用几个高级功能来增强工艺性能。这包括压电电机,方便晶片卡盘的精确运动控制,而先进的等离子体控制(APC)机器确保最佳等离子体条件。此外,该反应堆还利用可变压力工具,允许将腔室压力调整到工艺窗口内的最佳范围。生产商GT是CMOS和MEMS等高密度应用、薄膜磁光器件以及其他先进沉积工艺的理想选择。它提供了优于传统沉积技术的薄膜均匀性,即使对于垂直缩放的几何形状也能实现高度均匀的薄膜。此外,等离子体和高达600°C的温度相结合,可促进包括ALD/CVD在内的高级沉积过程。此资产高度坚固耐用,设计轻巧小巧,易于安装和维护。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种先进的工艺工具,可实现半导体行业的高密度应用。它为需要严格控制厚度、温度、压力和均匀性的沉积过程提供了有效的解决方桉。此模型非常可靠,提供了一致且可重复的过程,有助于减少周期时间并提高所需的精确结果。
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