二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9275950 待售
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ID: 9275950
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
System, 12"
EFEM
O3 Rack
AC Rack
NPP Rack
Main TM
HARP USG Chamber
Monitor
(3) Part boxes
(2) KAWASAKI 3NS510B Atmospheric robots
UPS Interface
Front Interface (FI):
(3) Part boxes
WIP Delivery type: OHT
Chamber A, B and C twin: HARP USFG
Local center finder
Robot blade and type: FX Dual deck ceramic
Chamber A, B and C:
HA12 Dual zone heater
Face plate: Water cooled
Manometer: 20/1000 Torr
Clean type (RPS): MKS FI80133
No NDTR endpoint
No DPA
Foreline, 2"
ISO: NORCAL 021010-1
TV: MKS 683B-31931
Monitor: Stand alone
Chamber C: AX8407A Ozone generator
Ozone generator rack: Eterna
Gas delivery - APF GP:
MFC: GF 125
Gas feed: Bottom
Gas panel cabinet exhaust: Bottom exhaust
NIPPON Filters
Manual valves: FUJIKIN
Pneumatic valves: FUJIKIN
Liquid source
No regulated gas panel
No interlock indicator
No transducers
No display gas pallet
Gas pallet configuration:
Chamber A, B and C:
MFC: N2-Purge
Gas / Size
NF3 / 15000
AR / 15000
N2 / 5000
O2 / 30000
HE / 30000
N2 / 50000
LFM: STEC
TEOS: 7g
Spare parts included
Missing parts:
(2) AX8407A Ozone generators
(6) 0246-22744 Heater lift assemblies
0240-80219 Ring
(2) Ceramic heaters
Chamber B: Lift assembly
Chamber B and C: (2) Controller boxes with board
Power supply: 208 V, 50/60 Hz
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种用于光伏材料薄膜沉积的高度先进的下一代反应器。它旨在实现光伏（PV）制造工艺的全面自动化，从材料前体到高效光伏电池和模块。自动化、灵活性和高性能的结合使得AMAT Producer GT成为光伏制造的革命性工具。应用材料生产商GT基于多个进化世代的技术和创新.先进的第10代平台由全自动、专用的多工具反应堆组成，具有集成的过程模块和软件控制。特性和进步包括基板-步进位移、基板尺寸/形状适配器、先进的气流控制以及低成本的源代码集成。生产者GT中包含的集成过程模块用于为光伏电池和模块世代开辟新的机会。这些最先进的模块提供了在大容量和高吞吐量下成功生产所必需的最高级别的性能和灵活性。该工艺模块可用于薄膜材料的沉积以及对光伏材料层厚度和组成的精确控制。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT还可以以优异的效率生产双结和三结薄膜太阳能电池和模块。软件控制平台还允许结合流程模块进行高级操作。这包括手动和自动操作以及实时过程监视、故障排除和诊断。完整的自动化系统可实现更快的吞吐量,从而扭转生产成本,提高产量,并严格控制所有参数以实现最大输出。在合成方面，AMAT Producer GT提供了许多优点和好处，能够高效生产光伏材料。平台自动化沉积过程，减少误差和成本，推动更高效率的光伏电池和模块生产。它是寻求优化高效光伏电池和模块生产的组织的理想选择。
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