二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9282971 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是为材料处理应用而设计的先进反应堆。它是等离子体增强化学气相沉积（PECVD）机的一种。该反应堆利用电离等离子体的增强形成材料膜和涂层。AMAT Producer GT有一个高强度的陶瓷铁基板支架，设计用来承受更高的温度。这个基板支架有一个石英晶体敏感器，可以达到高达300 °C的温度。它还有两个陶瓷铁加热器，允许温度升高到400 °C。应用材料生产商GT反应堆采用多圆燃料设计。这种设计利用独特的多环构型来产生均匀的等离子体沉积。多圆燃料设计还能够对沉积和清理循环之间的完美过渡进行精确的过程控制。反应堆配备了独特的双区特性，可以针对不同类型的材料编程不同的等离子体条件。生产者GT利用先进的电子回旋共振（ECR）技术。这项先进技术使高密度等离子体具有改进的电离。这种增加的电离使材料膜和涂层的沉积速度更快，均匀性更高。ECR设备还降低了与沉积过程相关的生产成本。反应堆的真空压力范围为1x10-7至1x10-3 Torr。它还具有几个安全特性，如防爆进入腔室、紧急空气关闭和热气绕行管道。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT反应堆还配备了先进的远程接入系统。这允许从一个远程位置控制和监测反应堆。远程访问单元还具有诊断、实时监视和数据记录功能。此机器旨在最大程度地减少停机时间并降低成本。综上所述，AMAT Producer GT是一种先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器。它具有双区控制、多圈燃料设计、电子回旋共振（ECR）技术和先进的远程访问工具。该反应器旨在实现更快的沉积速率和更高的材料膜和涂层均匀性。它非常适合需要高温和精确过程控制的材料加工应用。