二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9284083 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是为半导体绝缘体硅（SOI）高级工艺集成而设计的先进蚀刻反应器。此版本的AMAT Producer GT采用了业界领先的功能尺寸、卓越的一致性和一流的延迟。此外,该反应堆还采用了业界首个多室配置,专门为满足广泛的客户需求而设计。应用材料生产商GT反应堆装有先进的PECVD气体输送系统，能够以高PECVD速率输送氧化硅、氮化硅等介电材料。反应堆还具有等离子体增强层沉积（PELD）能力，可创建薄的平面化介电层，并具有执行化学-机械抛光（CMP）工艺的能力。CMP工艺提供了一个平面非挥发性电介质层，具有良好的设备性能。生产GT反应器还具有高通量阀系统，能够在腔室状态之间快速切换，减少过程时间。另外，反应堆均匀性的均匀性允许不同工艺模块的整合。反应堆还提供远距离均匀性控制，在整个大过程区域提供精确的过程控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT还提供了广泛的过程控制功能,包括自动过程调整、自学能力和"锁定"模式。利用这项技术,过程控制可以缩小到更精细的水平,从而在不牺牲产量和周期时间的情况下实现更高的生产率和产品质量。总体而言，AMAT Producer GT是一个创新的反应堆，结合了高性能和可靠性以及灵活和经济高效的平台。它提供卓越的过程控制,能够在高级过程集成中实现领先的设备性能。