二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9293604 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT是一种水平反应器，用于为微电子工业沉积光致抗蚀剂和其他敏感层。该反应堆设计用于高通量处理，采用高温管状加热区，提供低热质量和快速回收。AMAT Producer GT还具有一个集成的感受器,可在较宽的区域内进行真正的垂直沉积,用于均匀的薄膜。集成晶圆分销商和反应室确保整个设备的颗粒平衡一致。APPLIED MATERIALS Producer GT有两个完全可编程的过程室，分别有加载和处理区域，以提高吞吐量和灵活性。它还提供了一系列工艺气体控制系统，以精确地维持整个腔室所需的气体平衡。反应堆的悬臂式设计为用户提供了对工艺气体的高度控制，从而实现了工艺优化。此外,根据工艺要求,主腔室温度可设置为300°C-960°C。在安全性方面,Producer GT具有许多安全联锁,需要在系统、站点和腔室级别成功进行认证。它还有一个带有集成温度传感器的冗余热安全单元。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT集成了支持射频的数据记录和采集能力,从而实现了广泛的过程监控。最后,AMAT Producer GT是微电子工业的先进机器.它具有多种特性，使其能够精确沉积光刻胶和其他敏感材料，并提高了通量和均匀性。它还有几项安全措施，以确保流程安全和数据记录能力，以便进行高效的流程监测和控制。