二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296911 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT reactor是AMAT开发的一种先进的加工设备，在半导体制造过程中提供更高的生产产量。该反应堆结合了气体输送、热管理和应用等离子体技术，为控制基于Si的蚀刻工艺创建了一个集成的解决方桉。AMAT Producer GT反应堆的核心是其多气体输送。该反应堆能够提供多达八种不同的气体，使其能够用于涉及顺序或同时输送含氟、稀有物质、掺杂物质和其他反应性物质的多步骤蚀刻过程。利用Advanced Mass Flow Controllers （AMFCs）,可以在整个基板上实现卓越的均匀性和可重复性。此外，APPLIED MATERIALS Producer GT反应堆的先进软件架构允许对等离子功率、工艺配方等参数进行精确控制。生产GT反应堆还具有集成的热管理功能，不仅可以改进过程控制，还可以提高能源效率。其先进的定位系统具有主动的光学对准和扩展的基板支撑，使其适合大小和配置各异的基板。它的液体和快速循环温度控制系统旨在为整个基板和整个反应堆室提供卓越的温度均匀性，防止刻面问题，并允许以更高的工艺速度进行更长的运行。在其应用等离子体技术方面，AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT反应堆是建立在该公司经验证的电子回旋共振（ECR）源之上。这使得反应堆可以达到更高的功率密度水平，从而提高蚀刻速率和更好的薄膜均匀性。此外，ECR源还提高了稀有气体效率，改进了加工，同时减少了晶圆级缺陷。AMAT Producer GT反应堆是一种高度先进、用途广泛的蚀刻装置，非常适合半导体研究和生产。凭借先进的硬件和软件能力，反应堆不仅能够实现更高的生产产量，还能提高工艺的可重复性和统一性。机器的集成热管理能力也确保了能源效率的提高，从而减少了碳排放。