二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296916 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种用于半导体制造的反应器。它是一种化学气相沉积（CVD）工具，设计用来将介电材料的超低温层沉积在基板上。该反应器采用专有的感应加热平台和低压工艺室，以确保安全、可重复的膜沉积，具有优异的热性能。此外,该工具还具有易用性和卓越的吞吐量。AMAT Producer GT配备了大功率电子发电机、感应线圈和受控真空环境。在反应堆室内部，使用通气室来分配过程气体。在实践中，沉积发生在底物定位在与感应线圈的最佳距离处，并保持在反应堆腔内。感应线圈激活后，将过程气体引入腔室，形成低压环境。然后，在基板和感应线圈之间生成等离子体，提供必要的热量和能量，使薄膜沉积在基板上。应用材料生产商GT设计用于在低基质温度下持续沉积介电薄膜。通过在感应线圈中添加射频偏置来提高薄膜沉积速率，这有助于稳定基板表面的电子发射。制片人还保持低至40°C的温度，允许良好的薄膜刻面和优异的致密保形沉积。此外,该工具还能够进行过程缩放,在各种腔室尺寸上提供可重复的过程性能。这使得工具可以用于生产任何小型或大型基板。作为一个额外的奖励，生产商提供了一个令人印象深刻的能力，在一个处理周期内沉积多层薄膜，提高生产力和降低成本。简而言之,Producer GT是一种坚固可靠的CVD工具,专为优异的散热性能、易用性和卓越的吞吐量而设计。