二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9351133 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，用于电介质、聚合物和金属的沉积。它旨在提高生产能力和可靠性,提高产品质量,降低运营成本。AMAT Producer GT反应堆设备结合了源室、沉积室和全自动工艺室控制器、气管柜、加热区控件、中央真空系统和原位端点测量（IEM）单元作为完整解决方桉。该反应堆非常灵活，可用于处理从大面积基板到微米大小特征的各种材料。APPLICED MATERIALS Producer GT的源室配备了几个集成的大功率射频源，以给出较高的沉积速率。气体喷射机设计用于提供精确的燃料溷合比，以控制沉积速率和界面极限控制。多个气体管线和数字质量流量控制器允许复杂的过程，如同时运行反应性和惰性气体化学。反应器室的设计目的是为沉积过程提供均匀性和可重复性，并具有非常小的源底距离，以实现良好的工艺控制。线性磁场电磁线圈在大面积上提供高均匀性。它也有一个令人印象深刻的温度控制机制集成，提供高温均匀性与单独的加热区和直接的温度反馈。IEM工具是底物沉积、监测原位过程端点和提供实时反馈的终极控制。这种监测资产能够在很大的温度范围内检测任何具有高灵敏度的沉积速率变化。IEM模型还为每个允许的工艺室配备了集成的沉积工艺室大气监测设备。总体而言,生产者GT是一个可靠的自动化PECVD系统,能够在广阔的区域提供精确的过程控制和沉积均匀性,而且沉积速度非常快。对于任何需要高性能和高精度沉积工艺的科学家或工程师来说，这种反应堆装置是一个有吸引力的选择。