二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9351429 待售
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AMAT(APPLIED MATERIALS)AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT reterport是一种最先进的、大批量的生产设备,设计用于100 nm以下的多晶硅生产。该反应堆的设计目的是为高质量的薄膜提供高水平的可重复性和均匀性。该反应堆的设计与现有的单室和多室系统以及各种辅助设备兼容。AMAT Producer GT反应堆在其加工区集成了六个高扭矩气体喷射器,用于将气体和沉积前体输送到工艺室内。喷射器能够将惰性气体与活性物质溷合,使反应物控制和多晶硅薄膜的生产具有较高的精度和稠度。此外,反应堆设有一个单独控制的温度区,为沉积源提供均匀加热,并允许薄膜均匀沉积。沉淀源控制器设计为能够操作多种来源和化学组合,从而为高质量薄膜的生产提供了一个通用的解决方桉。反应堆配备了包括可调节快门、自动化、双轴载荷锁、载荷锁安全系统和智能螺旋控制器在内的多个先进、机动化部件。这些组件提供精确的控制和准确性,以确保薄膜的均匀沉积。此外,设备还配备了电源故障切换百叶窗,能够在多个工艺气瓶之间快速移动,从而确保生产不中断。APPLIED MATERIALS Producer GT能够快速进行模具加工,从而在最短的停机时间内实现快速生产。最先进的机器具有直观的用户界面和强大的处理器,为用户提供了一套全面的工具控件。用户界面设计为高度可定制,可提供一系列用于流程监控和维护的操作。Producer GT采用模块化设计,是制造100纳米以下多晶硅薄膜的通用生产工具。该反应堆适合于低批量生产,为用户提供精确、可重复的效果和优越的薄膜一致性。它具有易于使用和维护的用户友好功能,其创新的设计使其成为一个高度可靠的处理设备。
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