二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9352398 待售
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AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种强健、高通量的等离子体蚀刻反应器,设计用于半导体加工应用。该设备采用了先进的源代码技术(AST)工艺模块,允许对不同的蚀刻工艺进行快速转换和集成。对等离子体腔室进行了优化,使其在各种晶圆尺寸上具有较高的蚀刻速率和均匀性。该系统由快速涡轮等离子体(TP)发电机提供动力,在整个碗中提供均匀性。AMAT Producer GT配备了最先进的运动控制和自动化过程监控,提供了高度准确、可重复的过程结果。单元特性包括高精度、双向运动控制和晶圆处理,以实现高保真和严格控制的等离子体工艺步骤。此外,APPLIED MATERIALS Producer GT还配备了先进的现场端点能力,为关键过程步骤提供预测性过程控制。生产商GT有一个Penta-tube Viewport,通过消除耗时的晶片装卸,大大减少了观察晶片加工所需的时间。Penta-viewPort提供了一个较大的查看区域,从一定角度观察晶圆操作。晶片沿角色外轴定位,以确保良好的视角。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT专为工业级生产而设计,具有完全由专利基板屏蔽技术密封的刀具结构。这一特征有效地将内部等离子体环境与任何潜在的污染或减少隔离开来。该机还配备了先进的远程维护工具,允许远程诊断和高效维修。AMAT Producer GT配备集成CDA资产,提供先进的过程控制能力。此外,APPLIED MATERIALS Producer GT还采用了APPLIED Materials高速内部气体绝缘(HSIGI)技术,提供可靠且可重复的结果。这样就可以统一和更好地控制过程结果。该模型还具有多点温度控制和监控功能,以确保整个配置的温度精确一致。生产GT是一种强大、可靠、高效的蚀刻反应器,旨在为半导体器件制造提供最佳工艺效果。它是生产规模扩大和过程转移的理想选择,可显着节省时间和改进过程。该设备提供了极其可重复的结果,而先进的过程模块、运动控制和端点功能的结合使得结果能够得到高度精确。
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