二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9383833 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种先进的高性能气体反应器，用于沉积含硅薄膜。利用微波技术直接在晶圆级创建蒸气反应区（VRZ），提供改进的晶体管性能和较低的运行成本。该系统由三个主要组成部分组成：一个腔室、一个气体输送系统和一个电源。该室是AMAT Producer GT的心脏。它由两个隔间组成。反应室的上部装有一个冷却的感光器，晶圆放在该感光器上。下部，泵房，装有机械部件，这是反应堆安全运行所必需的。内部反应堆壳体由石英（Si-O2）材料制成，是室内等离子体环境的理想选择。气体输送系统将气体输送到室内。它由供气和排气两条气线组成。供应线由一个质量流量控制器、一个隔离阀和一个导管组成，可以快速准确地控制气流。排气管线抽出副产品，维持反应区。APPLIED MATERIALS Producer GT的电源是高功率、高频微波发电机。发电机有效激发等离子体,提高了沉积均匀性,降低了掺杂剂的可变性.生产商GT反应器提供了非常快速和高效的晶片处理，以及提高晶体管性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT凭借其最先进的技术和组件，是晶圆制造的理想选择。