二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9394898 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT(Generation Two)设备是一种分子束外延(MBE)反应器,主要用于沉积多种成分变化为多种基材尺寸的精密薄膜层。该系统依靠热、电子束、化学束和离子束辅助沉积(IBAD),使其成为生产高性能薄膜的强大工具。该装置的不锈钢真空室设计用于容纳直径不超过8英寸的基板和长度不超过10英寸的基板。其泵送速度高达1x103 mbar。具有钛升华作用的标准四英寸圆顶淋浴头源提供原子气相沉积,用于材料表征。AMAT Producer GT有四个热液池、三个Mo/Be源和两个电子束蒸发器,为各种沉积技术提供了灵活性。一个电池由卡口加热器支撑,允许温度设置为1000 °C。这个模型还包括一个超高真空(UHV)Cyrogenic Insulation选项,这有助于延长源寿命。该反应器还设有一个束溷合器,允许用户在引入真空室前溷合金属催化剂或掺杂剂的蒸气。通过将材料注入机器的光束溷合路径,用户可以操纵材料的反应性,以选择性地沉积所需的薄膜。这一特性使得该工具更加通用,能够产生广泛的复杂化合物。该资产还带有一个单独的锁载室,设计用于基板的快速转移。4英寸和8英寸晶片范围内的标准基材尺寸可以快速、方便地处理。另外还有样品持有者。最后,该模型还包括49点腔内样品旋转和气体进气能力,使APPLIED MATERIALS Producer GT成为一个多功能的MBE设备。生产商GT是一种高性能的分子束外延系统,旨在方便将精确的薄膜沉积到广泛的底物上。该装置采用多种沉积技术和一种用于处理反应性的束溷合器,为复杂化合物的生产提供了极大的灵活性。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer GT是客户希望快速轻松地生产高品质薄膜的理想机器。
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