二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9394900 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种高真空沉积设备,用于在多种基板上沉积薄膜。该系统可用于沉积多种金属、聚合物和电介质。该单元由真空室、源材料、基板处理机和过程控制工具组成。真空室是发生薄膜沉积的地方,通常由不锈钢构成。它配备了基板、快门阵列、气体分配资产、源供应、真空模型等各种组件。源材料存放在源电源内部,并通过快门阵列输送到基板。基板搬运设备用于将基板从一个腔室转移到另一个腔室,能够同时处理平板基板和晶片。基板通常被放置在一个抗氧化基板上,该基板为发生沉积提供了一个受控的环境。此外,基板处理系统还配备了对准装置,以确保晶圆相对于快门阵列精确放置,从而实现批量生产。过程控制机用于控制沉积过程,并监控在腔内发生的过程。该工具采用自动控制资产设计,可连续监测真空室内的条件,如温度和压力,以及材料流量。通过监测过程,模型可以对沉积过程进行精确调整,从而产生所需的薄膜。该设备还配备了手动调整的控制板。AMAT Producer GT是用于生产各种薄膜的可靠而坚固的系统。这种多功能单元可与多种材料配合使用,将薄膜沉积在多种基板上。过程控制机允许对沉积过程进行精确的调整,从而产生极为均匀和可重复的薄膜。此外,基板处理工具可以精确对准晶片和基板,进行大量沉积运行,使其成为生产薄膜的理想资产。
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