二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9400028 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT是一种自旋介电沉积反应器，用于半导体制造。它是一步一步的设备,可实现高长宽比、材料厚膜的快速自旋介质沉积,适用于要求精度、均匀性和可靠性的一系列应用。反应堆利用低压过程与非反应性惰性气体载体如Ar、N2或He。得到的沉积层均匀可靠.沉积是以生产通过化学反应形成的反应性"前体"材料为基础的。反应堆可设置为提供非常低或非常高的沉积速率，并提供广泛的阶梯覆盖和薄膜轮廓控制。它还包括高级功能，以帮助最小化班轮沉积，显着减少总处理时间。该系统由多个组件组成，包括一个多区沉积室、一个碳化硅内部支撑结构、一个反应性气体输送单元和一个高精度自旋上介电沉积机构。这台机器的设计提供了一个完全自动化的转键过程，使薄膜层的成本效益和可靠的沉积。该腔室的设计可提供出色的台阶覆盖和薄膜轮廓控制,并提供一系列可用于调节工艺参数的选项。对腔室内部进行了沉积均匀性和稳定性的优化，具有多个气口、真空传感器和高精度沉积机构。碳化硅内部支撑结构可承受高达2250°C的温度,确保薄膜的沉积不受任何表面污染。反应性气体输送工具为反应物在室内的精确输送提供了多种输送通道，确保了沉积过程的一致性和可靠性。该资产还配备了一个先进的数据采集和分析门户，提供详细报告过程的各种参数，包括厚度、沉积速率和粒度。这使用户能够轻松地监控和控制过程，确保高质量的薄膜沉积。AMAT Producer GT是一个强大可靠的反应堆平台，为各种关键应用提供高精度的薄膜材料沉积。对于那些需要快速、安全、可靠的沉积材料、对薄膜层厚度、表面粗糙度、轮廓控制等工艺参数进行严格控制的人来说，该模型是一个理想的解决方桉。