二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9019704 待售
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ID: 9019704
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Dual SACVD chamber, 12"
P/N; 0242-14523
Process: BPSG
Iso Valve 0060-21442 rev b / 0060-76188 rev b
Throttle Valve 0010-14682
Foreline straight 0050-50173
Foreline elbow 0040-40886
Gas Manifold 0021-30143
LFM/Injector Manifold 3030-08008
Astron 0920-00057
Heater Transformer 211-0111-120 5 KVA
Heater Transformer 211-0101-120 5KVA
Heater Lift 0010-01418
Heater Driver 0090-00569
Pneumatic Switch Bank
Heater Ceramic 0040-04048
Heater Ceramic 0040-04048
Heater Filter 0090-01267,001
Specifications:
LFMs and injectors: STEC
TEOS, TEB, TEPO liquid delivery injection valves / lines
HFG: 0920-00107 AE 3000 RFG, AE PN: 3156114-003
LFG: ENI quanta-10D-01M1
Heat Controller: Johnson Electric Powerformer – Outdoor type 3R U/L
Gas box configuration:
Line 1: O3
Line 2: O2
Line 3: N2
Line 4: NF3
Line 5: N2
Line 6: Ar
Line 7: Empty
Line 8: N2
Line 9: He
Line 10: N2
Includes AMAT part numbers:
0040-03005
0040-61823
0040-51824
0040-03439
0040-01618
0021-06499
0040-04048
Missing parts:
Gas box enclosure
Gas box rails
Chamber support rails
Low frequency generator
High frequency generators
MFA / filter
Watlow heater contoller
Vapor line - heat trace
Foreline heater controller
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III是一种高度通用的反应堆,能够在极端温度和压力下运行,非常适合进行日益复杂的研究。该反应器采用柔性石英密封，保证了操作的一致性和可靠性。它有一个集成的真空系统，使它能够从超高真空快速调整到高真空，同时保持高水平的真空完整性。Advanced Materials AMAT Producer III拥有一系列令人印象深刻的功能,旨在实现各种创新实验。反应堆能够产生从-90°C到1150°C的精确温度，并利用独特的气体溷合系统来创造复杂的反应环境。此外,内置的质量流控制器可实现准确、可重复的流量。应用材料生产商III可以装备一系列实验，包括合成、蚀刻、结晶、敏化、辐照或沉积。反应室最大可超过40升，反应器可实现快速低温纯化、快速合成，加上扩散泵可增加真空。Producer III也与其他工具整合，允许进行多步实验。外部气体管线可以连接到分离器，用于多个气体控制系统，并可以添加样品支架，用于多个样品运行。该反应堆通过增加一个用于精确温度控制和反馈的光学高温计的能力得到进一步增强。生产者的稳健设计包括集成安全系统和热限制器，确保正常和极端条件下的可靠运行。而加上多点温度控制器和可移动窗口等附加功能，反应堆为研究者提供了最大的通用性。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III是一个先进的反应堆，能够提供可靠的低温工作环境，使科学家能够自由地探索各种工艺。它具有广泛的特点和根据特定实验量身定制的能力，使其成为现代研究人员的宝贵工具。
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