二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9092388 待售
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已售出
ID: 9092388
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
BPSG System, 8"
Wafer shape: SNNF
Mainframe: Producer Split
SMIF: manual
Ozone generator: Astex
System controller UPS option: no
(2) Chambers: BPSG
Heater: ceramic
Clean method: remote plasma
Manometer: Dual 20/100 Torr
Chamber wall: 11.484 o-ring
Gas Delivery
MFC type: Unit 8160
Valves: Fujikin 5 Ra Max
Filters: Pall
Transducer: MKS w/o display
Regulators: Parker
O2 20L UNIT
NF3 3L UNIT
Ar 5L UNIT
He 10L UNIT
N2 20L UNIT
TEOS STEC
TEPO STEC
TEB STEC
Electrical requirements: 200/208V, 50/60Hz, 240A
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER III是一种高性能、高通量、多过程反应器,经过工程设计,提供了一系列的薄膜和装置应用。它具有先进的专利三区设计,能够准确的工艺设置和出色的制造均匀性。反应堆有一个自动化的双轴定位器,这有助于改进整个感兴趣区域的过程控制和一致性。此外,自调节支撑轴和可调节倾斜角为加工提供了更大的灵活性。单独的气门和过程控制阀提供精确的调节和独立的操作,而集成的设备温度管理进一步增加了过程的稳定性。此外,最先进的控制系统提供了工具的多功能性和易用性操作。这种先进的反应器还具有新型的电极到夹具的锁定对准装置,在制造过程中确保反应室内的最大稳定性和准确性。此外,闭环控制和温度管理机器使反应堆能够快速准确地达到所需温度。集成的诊断和维护工具提供实时功能,以最小的停机时间进一步确保最大的流程效率。洁净室的设计确保了无污染的生产过程,使反应堆适合半导体、薄膜、光电、化学机械和真空加工等一系列应用。它还支持受益于高统一性和高吞吐量功能的多个应用程序。这些包括金属沉积、蚀刻、氧化、硅硝化、硅氧硝化、BPSG沉积、SiO2沉积和钝化、蒸发薄膜加工、氮化物沉积、热氧化和分子束外延(MBE)。综上所述,AMAT Producer III是一种可靠、用途广泛的反应堆,能够为各种薄膜、光电和工艺应用提供准确、高通量的制造。它具有先进的三区设计、双轴定位器、可调倾斜角、集成温度管理和闭环控制资产,是制造专业人士的理想选择。
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