二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9223653 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III
ID: 9223653
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
PECVD Deposition system, 8" Multi chamber 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III是为半导体及相关的先进材料应用而设计的先进蚀刻沉积反应器。该设备是围绕一个高效可靠的陶瓷管子熔炉设计的,具有精确的温度和压力控制以及完整的蚀刻和沉积气体。集成蚀刻源提供了优良的工艺均匀性和精确度,以及对蚀刻速率和蚀刻选择性的精确控制。沉淀源可靠,具有广泛的工艺灵活性和控制能力。AMAT Producer III为硅、碳和氮化物薄膜等材料提供全方位的材料沉积能力,包括热、CVD和蒸发过程。先进的沉积工艺具有非常低的缺陷密度,具有很高的可重复性。此外,高度的过程控制可以用来创建非常均匀的层,最小的碟形和排泄性。在蚀刻能力方面,系统既能处理湿法过程,又能处理等离子体过程,利用高度的精度和选择性,以极高的精度蚀刻材料。集成控制单元为蚀刻速率和选择性提供实时反馈,确保最优工艺效果。此外,该机器还为各种材料提供了广泛的预编程蚀刻协议,以及为特定进程创建自定义协议的能力。APPLIED MATERIALS PRODUCER III反应堆与Producer Modular Service Station捆绑在一起,Producer Modular Service Station是机械臂的集成工具,具有逐步自动化能力,配置用于预定义和可定制的过程序列。此资产使各种流程活动能够快速高效地完成,包括样品加载、采样、晶圆对齐和处理。总之,生产商III是一种高效、可靠的反应堆,设计用于一系列半导体和相关先进材料的应用。该模型提供了一系列全面的沉积和蚀刻功能、自动化过程的集成机械臂以及精确的过程控制,以确保多批次间的高可重复性。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer III具有先进材料加工可靠性和性能的良好记录,是任何需要精确、可重复蚀刻和沉积结果的应用的理想选择。
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