二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #177862 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 177862
System, SABPSG
Front End: Manual FE
Buffer pump: IPX100
Wafer sensor: WPS
Chamber position: A, B, C
Chambers A, B, C:
Lift assembly Installed
Pressure gauge Installed
RFG AE RFG-2000
RPS MKS FI20620
P-kit Installed
Ozone rack: Yes
Gas panel
SLD: Yes
MFC UNIT 8161/8160
Transducer MKS w/o display
Line L3 Empty
Line L2 Empty
Line L1 Empty
Line 1 O3
Line 2 O2 20 slm
Line 3 N2
Line 4 NF3 10 slm
Line 5 N2 5 slm
Line 6 Ar 20 slm
Line 7 Empty
Line 8 He 20 slm
Line 9 N2 20 slm
Line 10 N2 purge
Line R1 Empty
Line R2 Empty
Line R3 Empty
PLIS:
TEOS Yes
TEPO x (line ready)
TEB x (line ready)
Liquid line Yes
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S是一种高通量模块化单晶片工具，用于化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）薄膜工艺。该刀具设计紧凑,可轻松安装在较小的制造空间中。它也有很宽的温度范围，让它适应任何生产需要。AMAT PRODUCERS的设计采用了高级安全和减少污染措施。它有一个内置的闭环控制设备，可以自动调整生产水平、工艺参数和温度，以防止超支并保持生产的一致性。自动化控制系统还减少了生产过程中操作员出错的可能性。APPLIED MATERIALS PRODUCER-S在两室工艺室配置上运行。第一个加工室设计用于处理不同类型的材料，而第二个加工室则用于在薄膜沉积前清洗基板。两个腔室可以同时加热，从而可以更快地生产。AMAT Producer S配备了先进的自动化单元，可以精确控制生产过程的各个方面。该工具可以通过手动模式和自动模式操作。它还配备了最先进的运动控制机器，可以控制基板支架的运动和CVD/ALD源材料喷射器的喷嘴。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCED-S提供了多种有助于降低成本和改进制造的功能。它具有用于底物装卸的机械臂和用于调度和优化的软件工具。机器人臂有助于减少人为错误造成错误的可能性，而软件资产则有助于减少停机时间。PRODUCER-S是生产薄膜涂层的可靠高效工具。利用先进的自动化模型和安全措施，为薄膜沉积需求提供了经济高效的解决方桉。
还没有评论