二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9235472 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S是一种基于电子束蒸发器的反应器，设计用于先进的半导体清洗和沉积过程。AMAT PRODUCERS是AMAT系列中为半导体工业制造的先进蚀刻-清洁和沉积反应堆的最新工具。该反应堆汇集了最新的工艺和材料创新以及应用材料的精密设计和卓越的工程设计。应用材料生产商-S利用单个电子束蒸发器提供卓越的边缘轮廓和均匀覆盖。它能够将精确的沉积传递到晶片边缘，使AMAT ProducerS的边缘精度更好，并且使线条侧面的变色最小化。蒸发室利用精确的运动控制来精确控制梁的位置和梁的足迹大小。这使得它能够在过程中在晶片上实现均匀沉积。该工艺室由低放气、耐腐蚀的合金制成，利用清洁室工程中的最新技术，确保与晶片相互作用的清洁无颗粒环境。该室还包括一个热管理系统和一个射频屏蔽笼，它允许在所需温度下进行最佳的蚀刻清洁过程。应用材料生产商S还配备了一些先进的过程监测系统，如高精度多通道质量流控制器和气体消减系统，可以快速检测任何气体异常并进行相应调整。它还配备了可以精确控制蚀刻清洁和沉积过程的多个激光基光学卡盘，以及一个有助于有效控制整个清洁过程的快速加热和冷却单元。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCERS提供的先进的蚀刻-清洁和沉积工艺确保了统一的覆盖范围和增强的设备性能,使其成为满足高级半导体加工要求的理想解决方桉。