二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9251468 待售
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ID: 9251468
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
CVD System, 8"
Shrink type
(2) Twin chambers
Controller: Legacy type
L/L and Xfer pump: EDWARDS IPX
Chiller: Steel head
AC Box
UPS
Chamber A and B:
Process: P-TEOS (PSG)
RF: ADVANCED ENERGY RFG2000-2V
LF: ENI QUANTA-10
RPS: ASTRON 2L (F120620-1)
Chamber A:
Gas panel:
Gas / Max flow / Make / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 3 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
N2O / 2 slm / STEC / SEC-4400
SiF4 / 2 slm / STEC / SEC-4400
TEOS / 4 g/min / STEC / LF-410-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
Chamber B:
Gas panel:
Gas / Max flow / Maker / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
TEOS / 4 g/min / ST EC / LF-410A-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer S是一种自旋沉积（SOD）反应器，设计用于生产IC器件和其他组件。可用于大批量生产集成电路、MEMS器件和其他光电元件。AMAT PRODUCERS反应堆是专门为提供广泛的温度、压力和气流而设计的，允许用户对一系列材料达到优化的工艺条件。应用材料生产-S反应堆具有先进的高通量集群设备,可实现设备制造过程的自始至终的连续运行,同时提供统一且可重复的成像结果。S反应器配有双排气体喷射器和低流量溷合系统，提高了薄膜精密沉积的温度和压力控制。它还有一个集成的温度监测和控制单元，以实现优越的薄膜沉积。机器由一个加热的ID室、一个可选温度的加热元件、一个对流通风机和一个真空泵组成，以维持所需的压力。S型反应堆的设计旨在确保高水平的生产率和产量，同时保持对工艺参数的严格控制。它可以用于先进的IC设备生产，包括3D结构，需要沉积具有精确均匀性和可重复性的材料。控制工具使用ASCODE映射算法来确保在整个运行过程中维护所有进程条件。资产还包括一个支持软件的反馈循环，用于控制反应堆的运行。AMAT PRODUCER-S反应堆是一种强大可靠的工具，用于制造IC器件和其他具有高吞吐量、低拥有成本和出色工艺控制的部件。该模型由于采购和运营成本低，能够以较低的拥有成本生产高质量的集成电路。它也非常适合用于研究和开发以及大规模制造用于商业应用的组件。
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