二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9296926 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Producer S是一种多腔室、分裂型反应系统，可实现多种工业过程，包括半导体器件制造、纳米线沉积、薄膜沉积和光伏。该反应器由三个室组成：一个预疏散室、一个超高真空室和一个锁载室。布局可以很容易地适应不同的应用，整个系统能够安装到一个小于10英尺（3m）的单一基准空间中。预疏散室用于泵送负载锁室和超高真空室的压力。它还用于引入低温真空以便于沉积。锁载室的设计允许将基板支架装入超高真空室而不会破坏真空，从而保持超高真空。锁载室加热到大约85摄氏度，有助于基板解吸和减少粒子生成。超高真空室能够达到高达2x10-7torr的压力。这个会议厅是进行实际沉积的地方。反应室设有屏蔽石英冷墙视口、气体歧管、电馈通、高强度灯和容器，使大气电离。该腔室设计用于接受不同类型的持有者，如晶片持有者和基板持有者，以实现基板操纵和沉积。AMAT PRODUCERS实现各种先进技术，包括等离子体增强化学气相沉积（PEVCD）、化学气相沉积（CVD）和溅射。这些过程有利于薄膜沉积在硅片和基板上，创造纳米颗粒和纳米结构，以及金属、半导体和介电膜的沉积。总体而言，应用材料生产国是一种高度通用的反应堆，能够在单一、节省空间的设计中进行各种工业过程。此配置使处理器能够达到高级制造过程所需的压力、温度和真空水平,同时保持安全可靠的系统。