二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE APF #293649954 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE APF是为原子层沉积（ALD）工艺而设计的革命性反应堆。它是一种高效、功能齐全的半导体制造和其他器件制造系统。AMAT Producer SE APF反应器能够产生具有亚纳米精度和可重复性的均匀共形层。反应堆是一个单晶片处理系统，具有嵌入的等离子体源和均匀的沉积跨晶片。它包括一个超高密度的等离子体源，自动化的精密控制和真空室。超高密度等离子体源用于先进的材料沉积和蚀刻应用。它提供高功率密度、高能量等离子体，提供过程控制和出色的均匀性。它还具有高分辨率的数字等离子体控制，用于对材料沉积和蚀刻的精确控制。该集成源允许在提高均匀处理面积以前所未有的沉积精度。自动精密控制包括一个智能控制器，可以精确控制过程参数。这样可以实现一致的、可重复的结果,而不管样品大小或晶圆大小如何。APPLICED MATERIALS生产商SE APF反应器还包括一个复杂的用户界面和一个先进的控制系统，允许在沉积和蚀刻过程的每个步骤优化工艺参数。真空室采用超精密加工金属和优质石英光学窗构成。它对热膨胀、腐蚀和腐蚀具有极好的抵抗力。该腔室允许沉积和蚀刻过程完全自动化，并允许更高的吞吐量和最小的污染。这种高性能反应堆为半导体工业提供超精确的沉积和蚀刻。高分辨率的数字等离子体控制使得先进材料的制造过程具有准确性和可重复性。集成源在晶片上提供均匀的沉积，自动精密控制允许优化工艺参数。有了这些特点，生产SE APF反应器是设备制造的绝佳选择。
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