二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE BD/BLOk Low k Dielectric #9287956 待售

AMAT Producer SE BD/BLOk Low k Delectric是一种设计用于在半导体器件制造中生产薄膜层的反应器。该介电层对于控制半导体器件的电容、电阻和击穿电压等器件特性至关重要。应用材料生产商SE BD/BLOk Low k介电反应器设计用于通过原子层沉积（ALD）产生均匀且可再现的介电层。ALD涉及一种底物连续暴露于两种或两种以上的前体（化学物种），它们在底物上相互反应形成薄薄的均匀层。该反应堆由一个加热的基板台组成，该基板台封闭在石英室中，周围有大约六个淋浴头。淋浴头用于将各种气体前体精确地送入室内，然后吸附到基板上。基板台可加热至25°C至350°C的温度。高真空泵和压力表用于在加工过程中监测和维持腔室内的压力。为了确保底物的均匀覆盖，淋浴头设计用于将前体分子的恒定分布传递到底物上。气体分配系统是反应堆的一个关键元素，因为前体分子的均匀分布允许形成一个均匀的薄介电膜的界面生产。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE BD/BLOk Low k介电反应器的设计目的是产生低k介电层，由于介电常数值低而能处理低k应力，允许较小的器件特性，同时仍能提供良好的绝缘。这要归功于其高效设计和使用最先进的技术。AMAT Producer SE BD/BLOk Low k电介质反应器是一种在半导体器件制造中生产薄膜层的可靠、经济高效的方法。其高效的设计允许改善电容、电阻和击穿电压等器件特性，使制造商能够生产出可靠的半导体器件。