二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE+ #293591355 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE+是一种高性能沉积设备，设计用于各种专门的反应性材料合成和沉积过程。SE+系统是在高真空环境下提供多源多元素沉积的单晶片间歇反应器。该单元拟用于生产薄膜、硬面膜等薄膜和半导体材料，厚度范围为1 nm至10 μ m。SE+是完全自动化的,它提供了许多流程选项和控制功能。SE+利用氧化剂、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、物理气相沉积（PVD）、原子层沉积（ALD）等先进技术。机器还具有可变的工艺厚度，通过控制曝光时间和压力取决于所需的结果。SE+还可以在高吞吐量速率下创建具有卓越均匀性的多种薄膜。SE+具有先进的温度和腔室压力控制，提供高品质的薄膜，也与广泛的基板兼容。它包括一个包括碳氢化合物、氧气和其他惰性气体的氧化模块；它还能够保持较高的基板温度和压力范围。基板被放入一个全自动的密封室工具中，所有加工都在内部进行，不需要额外的沉积后清理、处理和中间阶段清理。该资产还具有为优化过程均匀性和沉积参数控制而设计的腔室几何形状。此外，该室被高效气体顺序注入模型（GSIS）包围，以确保前体的充足供应并使每一个过程都可重复。SE+还具有直观、自动化的调谐能力,并对沉积参数进行了专家设备优化,使每次沉积过程中都能产生可重现的薄膜结果。该系统具有多种工艺源和一系列可选工艺技术（如电阻加热、激光传感和多种硬件升级选项），可扩展。综上所述，AMAT Producer SE+是一种高性能的单晶片间歇反应器单元，旨在优化反应性材料合成和沉积过程。它能够创造出精密、均匀、高通量的多种薄膜、硬面膜等薄膜和半导体材料。此外,SE+还具有先进的温度和腔室压力控制、为优化过程均匀性和参数控制而设计的腔室几何形状、高效的气体顺序喷射机（GSIS）,以及直观、自动化的调谐和专家工具优化。