二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293591459 待售
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ID: 293591459
优质的: 2005
PECVD System, 12"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Chamber A and B:
Type: APF
Gas name / MFC Size
C3H6 / 3000 SCCM
NF3 / 1000 SCCM
O2 / 15000 SCCM
AR / 10000 SCCM
HE / 5000 SCCM
O2 / 10000 SCCM
Ar / 10000 SCCM
N2 / 15000 SCCM
He / 1000 SCCM
RF (High frequency): 13.56 MHz, 3 kW (maximum)
Remote plasma: 400 kHz, 10 kW (maximum)
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一个最先进的半导体制造反应堆,为先进的芯片制造提供业界领先的集成、正常运行时间和吞吐量。AMAT Producer SE提供了半导体制造能力的极致,提供了直径达8英寸的晶片的全晶片处理。该反应堆准备好了钻石边缘快速沉积(DE HDD)和IDEALD(IDEALD),并进行了可选的升级,以提高沉积速率和提高护套稳定性。该设计具有许多高级功能,可最大程度地提高吞吐量,包括九区多篮装载机和高吞吐量集群沉积炉。整个系统旨在确保芯片制造精度和效率,同时消除手动操作和减少停机时间。应用材料生产商SE反应堆利用热成像技术和先进工艺,为独特的晶圆应用提供无与伦比的量身定制。该系统提供基于晶圆计数和堆栈配置的快速、准确的负载匹配。先进的工艺控制系统管理温度、压力和气体反应条件,以确保先进材料的精确应用。坚固的过程控制系统还提供了沉积过程的均匀性,甚至在多篮子配置上也提供了均匀性。创新的双观测技术使用户能够准确监测过程及其结果。先进的流体动力控制确保了均匀的物料输送,并控制了厚度、组成和表面纹理。反应堆采用先进的扫描和成像技术设计,实时分析晶片,检测任何材料或工艺偏差。此外,ProducerSE应用先进的表面检查技术来确保均匀的表面光洁度.通用的AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE可根据用户的需要进行配置,并与现有生产系统无缝集成。它还与来自不同来源的材料兼容,其先进的信号处理算法可以让用户快速识别物质差异。AMAT Producer SE附带了一整套一流的组件,包括最先进的图形用户界面(GUI)。GUI使用户能够管理从连接和控制流程到调度和管理作业的操作。总体而言,APPLIED MATERIALS Producer SE反应堆为先进的芯片制造提供了前所未有的工艺控制、精度和速度水平。这个精密的半导体制造单元提供高效的加工、最大的吞吐量和完美的精确度。其强大的世界级集成技术确保所有晶圆处理始终精确,无论其应用如何。
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