二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293614934 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE（分裂电子束）是一种设计用于晶圆级处理的低真空过程反应器。它提供了出色的膜质量控制，强大的工艺能力，可靠的腔室保护。适用于化学气相沉积（CVD）或蚀刻和化学机械平面化（CMP）等通用应用。AMAT Producer SE还能够对复杂前体和稀有气体退火过程进行高破碎反应。APPLIED MATERIALS Producer SE的反应器室是由不锈钢构成的圆柱形设计。腔室直径136厘米，深20厘米。它能够一次容纳多达20个晶片，可以容纳大小和厚度各异的晶片。生产商SE具有先进的电子束源,用于提高过程控制.电子束源有望在处理任务中提供高精度和高精度的可重复性。光束产生水平聚焦在晶圆上的高能电子。当光束撞击晶片密封室时，光束被调制，从而增加了沉积膜的均匀性。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE可以在低真空模式下操作，方便更快的处理时间。该反应器采用电子增强化学气相沉积（E-CVD），电子束源提供优化的功率传递，以提高膜蒸发沉积的效率和均匀性。AMAT Producer SE的E-CVD能力可用于沉积金属，如铝，用于集成电路。该反应堆还能够进行稀有气体退火工艺，用于制造液晶屏和PDP显示器中的薄膜晶体管（TFT）。所有这些过程都需要高温，可以使用集成控制系统实现自动化。APPLIED MATERIALS PRODUCER SE附带先进技术,其中多个自动化工具允许用户设置作业、控制过程和监控结果。Producer SE是加工薄膜的理想工具，在广泛的行业中有许多应用。该系统提供先进的工艺和高精度,使其成为芯片制造商、显示器制造商和其他需要可靠薄膜处理的行业的理想工具。